特許

J-GLOBAL ID：200903061821144447

露光装置

発明者： 岡崎 洋二 ,  石川 弘美
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-140760
公開番号（公開出願番号）：特開2004-343003
出願日： 2003年05月19日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】空間光変調素子の像を結像面に正確に投影することができる露光装置を提供する。【解決手段】温度コントローラ10は、図示しない温度センサの出力に基づいて、DMD50及びマイクロレンズアレイ76が予め設定された温度に維持されるようにペルチェ素子78及びペルチェ素子92の各々を独立に制御する。DMD50及びマイクロレンズアレイ76の温調温度は、DMD50の基板材料及びマイクロレンズアレイ76の材料を考慮して、DMD50の各画素部からのビームと対応するマイクロレンズとの相対的な位置ずれ(画素ピッチずれ)が2%以下となるように設定されている。画素ピッチずれを2%以下とすることで、DMD50の像を結像面に正確に投影することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

照明用の光ビームを出射する光源と、 各々制御信号に応じて光変調状態が変化する複数の画素部が2次元的に配列され、前記光源から前記複数の画素部に入射した光ビームを、前記画素部毎に変調する空間光変調素子と、 前記複数の画素部に対応するピッチで複数のマイクロレンズが2次元的に配列され、前記画素部により変調された光ビームを、前記マイクロレンズ毎に集光するマイクロレンズアレイと、 前記マイクロレンズアレイ及び前記空間光変調素子の温度を、前記画素部からのビームと前記画素部に対応する前記マイクロレンズとの相対的な位置ずれが所定量以下となるように予め設定された設定温度に各々独立に調節する温度調節手段と、 を備えた露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (2件)：

H01L21/30 529 ,  G03F7/20 521

Fターム (4件)：

5F046BA07 ,  5F046CB12 ,  5F046DA13 ,  5F046DA26