静電アクチュエ-タにおける電極配線板、及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-006404
公開番号（公開出願番号）：特開2000-209877
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】静電アクチユエータにおける帯状電極の密度を高くし、膜厚を薄膜化し、小型化、高出力、低電圧駆動化を可能とし、製造工程が簡単で量産に対応でき、機械的に強固で、化学的にも安定した構造のものを提供する。【解決手段】固定子又は移動子の複数の帯状電極125〜127への印加電圧を制御して、移動子を浮上、移動させる静電アクチュエータの固定子又は移動子用の配線板であって、帯状電極及び取り出し電極は導電性層からなり、その下部に形成した絶縁性の電着樹脂層によって、直接又は他の取り出し電極部を介して、電気絶縁性基板120に固着され、絶縁性の電着樹脂層をイオン性基を含有するポリイミド樹脂と、これを溶解可能な有機溶剤、水、前記イオン性基と極性が異なるイオン性化合物からなる電着塗料組成物より電着により形成した後、乾燥した樹脂層、又は必要に応じて熱処理、硬化した樹脂層である。

請求項（抜粋）：

第1の電気絶縁性基板上に駆動部を形成する電気的に独立した複数の電極群からなる複数の帯状電極が配線され、該複数の帯状電極の電極群毎に取り出し電極部を設けた固定子と、該固定子における帯状電極部上に載置され、第2の電気絶縁性基板上に抵抗体層を積層した移動子、もしくは第2の電気絶縁性基板上に駆動部を形成する電気的に独立した複数の電極群からなる複数の帯状電極が配線され、該複数の帯状電極の電極群毎に取り出し電極部を設けた移動子とからなり、固定子の複数の帯状電極、あるいは固定子の複数の帯状電極と移動子の複数の帯状電極への印加電圧を制御することにより、移動子を浮上させて、移動させる静電アクチュエータにおいて用いられる、固定子用あるいは移動子用の配線板であって、帯状電極および取り出し電極は、それぞれ、導電性層からなり、該導電性層の下部に形成された絶縁性の電着樹脂層によって、直接あるいは他の取り出し電極部を介して、第1の電気絶縁性基板ないし第2の電気絶縁性基板に固着されているもので、且つ、絶縁性の電着樹脂層がイオン性基を含有するポリイミド樹脂と、該ポリイミド樹脂を溶解可能な有機溶剤、水、前記イオン性基と極性が異なるイオン性化合物からなる電着塗料組成物より電着により形成された後、乾燥された樹脂層、あるいは更に、必要に応じて熱処理され、硬化された樹脂層であることを特徴とする静電アクチュエータにおける電極配線板。

前のページに戻る