特許
J-GLOBAL ID：200903061826905888
ナノ粒子媒体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大橋 弘
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-530509
公開番号（公開出願番号）：特表2006-528401
出願日： 2004年05月17日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
ナノ粒子媒体の製造方法において、白金、窒化ケイ素および真空中での熱処理の下で解離する磁性元素の窒化物が基板上に所定量スパッタリングされ、基板は、真空中で高速熱処理操作を受けさせられ、基板は、磁性元素の窒化物が解離し拡散により窒素を放出して磁性元素を後に残す温度まで所定の期間にわたって加熱され、そして基板は放冷される。磁性元素は白金と合金を作り、実質的に単分散でありかつ窒化ケイ素中に実質的に均一に分布された粒子を形成する。この合金化プロセスは、磁性元素の窒化物が解離すると直ちに生じる。磁性元素は、好ましくはコバルトであり、基板は、好ましくは正方晶形のPtCo合金の形成を可能にする温度まで加熱される。
請求項（抜粋）：
ナノ粒子媒体の製造方法であって、
(a)白金、窒化ケイ素および真空中での熱処理の下で解離する磁性元素の窒化物を基板 上にスパッタリングするステップであって、スパッタリングは、所定の相対量の白金 、窒化ケイ素および磁性元素の窒化物を生成するようなものであるステップと、
(b)このようにして処理された基板に、真空中での高速熱処理操作を受けさせるステッ プであって、基板は、磁性元素の窒化物が解離し、拡散により窒素を放出して磁性元 素を後に残す温度まで所与の期間にわたって加熱されるステップと、
(c)基板を放冷するステップとを含み、
磁性元素は白金と合金を作って、実質的に単分散でありかつ窒化ケイ素中に実質的に均一に分布された粒子を形成する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
5D112AA05
, 5D112AA24
, 5D112BB01
, 5D112BB05
, 5D112FA04
, 5D112FB20
, 5D112GB01
