特許

J-GLOBAL ID：200903061832728289

加速度センサ

発明者： 山下 慎次 ,  川原 敦志 ,  浜松 弘
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052757
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319035
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 一定加速度や極低周波振動の加速度の検出が可能で、測定対象の範囲も広い加速度センサを提供する。【解決手段】永久磁石の磁界を検出する検出手段を用いた加速度センサとして、角枠状の固定部2と、その内側に取付けられた板バネ状の可動部3と、その両面に設けた重錘体4、41と、重錘体、41に重ねて接合した永久磁石5、51と、永久磁石5、51に対向する位置に配置されて直流磁界を検出する磁気センサ6、61と、磁気センサ6、61の出力から加速度を算出する演算部7とを備える。

請求項（抜粋）：

角枠状の固定部と、この固定部の内側に少なくともその一端が固定された板バネ状の可動部と、この可動部の一部に設けられた重錘体と、この重錘体に接合された永久磁石と、この永久磁石に対向配置され前記可動部材の変位によって生じる前記永久磁石からの磁界の変化を検出する加速度検出手段と、この加速度検出手段の出力変化から前記永久磁石に印加される加速度を演算する加速度演算部と、を備えた加速度センサにおいて、前記重錘体および前記永久磁石は、前記可動部の鉛直方向の上面および下面の両側に配設された積み重ね体からなり、前記加速度検出手段は、前記積み重ね体の上下方向の変位による直流磁界を検出する磁気センサであることを特徴とする加速度センサ。