特許

J-GLOBAL ID：200903061833191335

X線分光器

発明者： 石田 秀信
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042771
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236697
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 電子ビームの大きなスキャン幅に対しても充分な分光強度を得て良好な分布測定を行うことができるX線分光器を提供する。【解決手段】 ローランド円11に沿って配置したX線光源と分光結晶3と検出器4とを備えるX線分光器において、分光結晶3をX線光源の位置(A,B,C)に応じて、分光結晶3に対するX線10の入射角度θが許容角度範囲内に保持されるよう連動して移動する構成とし、これによって、大きなスキャン幅で電子ビーム9がスキャンしてX線光源の位置がずれた場合でも該位置ずれに応じて分光結晶3を連動して回転や平行移動させて、分光条件を満足させて検出器4に回折X線を入射させ、充分な分光強度を保持させ良好な分布測定を行う。

請求項（抜粋）：

ローランド円に沿って配置したX線光源と分光結晶と検出器とを備えるX線分光器において、前記分光結晶はX線光源の位置に応じて連動して移動し、分光結晶に対するX線の入射角度を許容角度範囲内に保持することを特徴とするX線分光器。

IPC (3件)：

G21K 1/06 ,  G01J 3/12 ,  G01N 23/225

FI (3件)：

G21K 1/06 K ,  G01J 3/12 ,  G01N 23/225