特許
J-GLOBAL ID：200903061835974221
M×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-513725
公開番号（公開出願番号）：特表平9-504888
出願日： 1994年11月01日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】本発明は、光投射システムで用いられるM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイであって、能動マトリックス(52)と、各々が少なくとも、電気的に変形可能な物質からなる薄膜層(66)と、この薄膜層の上側面に位置する第1電極(70)と、下側面に位置する第2電極(71)と、各薄膜駆動構造体を支持すると共に、この薄膜駆動構造体と能動マトリックとを電気的に接続するM×N個の支持部材(58)のアレイと、各薄膜駆動構造体(54)における遠位の部分の上側面に形成されるM×N個のスペーサ部材(58)のアレイと、光ビームを反射するためのもので、各駆動構造体の各スペーサ部材に固定されるM×N個のミラー層(77)のアレイとを含み、電気信号が、各駆動構造体(54)の一対の電極の間に設けられた電気的に変形可能な物質からなる薄膜層に印加される場合、この薄膜層は変形することによって、その上に設けられたミラーも変形することになる。
請求項（抜粋）：
光投射システムに用いられるM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ(M及びNは正の整数)であって、 基板、M×N個のトランジスタのアレイ及びM×N個の接続端子のアレイを有する能動マトリックスと、 各々が、上側面及び下側面、近位の部分及び遠位の部分を有すると共に、上側面及び下側面を有する電気的に変形可能な物質から成る少なくとも1個の薄膜層と、前記薄膜層の上側面に位置する第1電極及び前記薄膜層の下側面に位置する第2電極とを含み、電気信号が前記第1電極と前記第2電極との間に設けられた前記薄膜層の両端に印加される場合、前記薄膜層と共に変形するM×N個の薄膜駆動構造体のアレイと、 各々が、上側面及び下側面を有し、前記薄膜駆動構造体の各々を支持すると共に前記薄膜駆動構造体と前記能動マトリックとを電気的に接続するM×N個の支持部材のアレイと、 各々が、上側面及び下側面を有し、前記各薄膜駆動構造体の上側面の前記遠位の部分に対応する側に形成されたM×N個のスペーサ部材のアレイと、 各々が、光ビームを反射するためのミラー及び支持層を有すると共に、前記各駆動構造体の前記遠位の部分に対応する第1部分及び前記近位の部分に対応する第2部分を含むM×N個のミラー層のアレイであって、前記駆動構造体の各々が前記電気信号に応じて変形する際、対応するミラー層が平面状に保持されてミラー全体が光ビームを反射できるように、前記ミラー層の第1及び第2部分が前記各スペーサ部材の上側面に固定され、対応する支持部材に片持構造体でそれぞれ支持される前記M×N個のミラー層のアレイとを含むことを特徴とするM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 E
, H04N 5/74 B
