特許

J-GLOBAL ID：200903061842898468

反射屈折縮小投影光学系

発明者： 末永 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202359
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188298
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成でありながら、半導体製造用の投影光学系として優れた結像性能を有する。【構成】物体側から順に、正屈折力のレンズ群G1 及び第1の凹面反射鏡M1 を有し物体の1次縮小像を形成する第1部分光学系と、第2の凹面反射鏡M2 と正屈折力のレンズ群G3 とを有し前記1次縮小像をさらに縮小して再結像する第2部分光学系と、前記1次縮小像の近傍に配置されたレンズ群G2 とを有し、さらに、前記第1凹面反射鏡M1 と前記第2凹面反射鏡M2 との間の光路中に配置された光路を屈曲させるための反射鏡とを有している。

請求項（抜粋）：

物体側から順に、正屈折力のレンズ群G1 及び第1の凹面反射鏡M1 を有し物体の1次縮小像を形成する第1部分光学系と、第2の凹面反射鏡M2 と正屈折力のレンズ群G3 とを有し前記1次縮小像をさらに縮小して再結像する第2部分光学系と、前記1次縮小像の近傍に配置されたレンズ群G2 とを有し、さらに、前記第1凹面反射鏡M1 と前記第2凹面反射鏡M2 との間の光路中に配置された光路を屈曲させるための反射鏡とを有することを特徴とする反射屈折縮小投影光学系。