特許

J-GLOBAL ID：200903061843544058

感光性組成物

発明者： 小木曽 直人 ,  渡辺 哲也
出願人/特許権者： 三洋化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152188
公開番号（公開出願番号）：特開平11-327151
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】 極めて高感度で且つ解像度の高い感光性組成物を提供する。【解決手段】 下記一般式(1)H2C=CH-X-O-R (1)[式中、Xは直接結合、1,4-フェニレン基または炭素数1〜5のアルキレン基を表し、Rは炭素数1〜5のアルキル基もしくは水素原子を表す。]で表される単量体(a)由来の繰り返し単位を有するビニル系(共)重合体(A)と、アジド化合物(B)とからなり、(A)、(B)の量が組成物の質量に基づいて、(A)0.5〜50質量%、(B)1〜30質量%であることを特徴とする感光性組成物。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)H2C=CH-X-O-R (1)[式中、Xは直接結合、1,4-フェニレン基または炭素数1〜5のアルキレン基(但し、該アルキレン基は1個のエーテル基、カルボニル基、カルボニルオキシ基もしくはオキシカルボニル基を有していてもよい)を表し、Rは炭素数1〜5のアルキル基(該アルキル基は1個の水酸基、スルホン酸(塩)基、エーテル基、アミノ基、アルキル基の炭素数が1〜5のアルキルアミノ基、アルキル基の炭素数が1〜5のジアルキルアミノ基、ニトロ基、シアノ基、カルボニル基もしくはカルボキシル基、あるいは1〜15個のエチレンオキシ基を有していてもよい)もしくは水素原子を表す〔但し、Xが直接結合の場合、Rは炭素数1〜5のアルキル基(該アルキル基は1個の水酸基、スルホン酸(塩)基、エーテル基、アミノ基、アルキル基の炭素数が1〜5のジアルキルアミノ基、ニトロ基、シアノ基、カルボニル基、もしくはカルボキシル基、あるいは1〜15個のエチレンオキシ基を有していてもよい)を表す。〕。]で表される単量体(a)由来の繰り返し単位を有するビニル系(共)重合(A)と、アジド化合物(B)とからなり、(A)、(B)の量が組成物の質量に基づいて、(A)0.5〜50質量%、(B)1〜30質量%であることを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/085 ,  G03F 7/012 501 ,  G03F 7/033

FI (3件)：

G03F 7/085 ,  G03F 7/012 501 ,  G03F 7/033