特許

J-GLOBAL ID：200903061843611570

めっき装置の制御方法

発明者： 山川 烈 ,  松原 俊也 ,  京 昌英
出願人/特許権者： 株式会社三井ハイテック
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-028551
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226541
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 温度等の諸条件が変化しても安定した品質を得ることができ、長時間の無人運転が可能なめっき装置の制御方法を提供する。【構成】 導体表面にパルスを印加し、金属イオンを含む溶液に浸漬することにより、前記導体表面で前記金属イオンを放電させ、金属膜を形成する電解めっきを行うに際し、めっき液の液温、めっき時間、めっき電流、パルスのオンオフ比等の所望のめっきをおこなうのに必要な条件を入力し、これにもとづいてめっき装置を起動し、さらに経時的に変化するめっき液の状態を監視し、該めっき液の状態に応じて、ファジィ推論により、めっき液の液温、めっき時間、めっき電流、パルスのオンオフ比等の最適条件を算出し、これら条件をめっき装置にフィードバックするようにしている。

請求項（抜粋）：

導体表面に電界を印加し、金属イオンを含む溶液に浸漬することにより、前記導体表面で前記金属イオンを放電させ、金属膜を形成する電解めっきを行うに際し、所望のめっきをおこなうのに必要な諸条件を入力し、これにもとづいて、ファジィ推論により最適エネルギー条件を算出し、前記最適エネルギー条件で前記めっき装置を起動させるようにしたことを特徴とするめっき装置の制御方法。

IPC (4件)：

H01L 23/50 ,  C25D 5/00 ,  C25D 21/12 ,  G05B 13/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-009296
  
• 特開昭61-141386
  
• 特開昭61-157669