特許

J-GLOBAL ID：200903061845464442

面位置検出装置

発明者： 川口 透
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-355036
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182929
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】両側テレセントリック光学系のテレセントリック性を維持し、被検面の広い検出領域全域にわたって高精度で面位置を検出できる装置を提供すること。【解決手段】 第1面8a上に形成された所定のパターンと、被検面1a上に前記所定パターンを投射する投射光学系9,100,10と、被検面で反射した光束を集光して所定パターンの像を第2面上に結像する集光光学系11,12と、所定パターンの像を光電的に検出する検出器17とを備え、検出器の出力に基づいて被検面の面位置を検出する面位置検出装置において、少なくとも投射光学系と集光光学系との一方は、変倍レンズ群L2を含む変倍光学系部100と、被検面に投射される光束と被検面で反射した光束との少なくとも一方の光束の所定方向の開き角を制限するための開き角制限部材STPとを備え、開き角制限部材と変倍レンズ群との配置順序が変更できる。

請求項（抜粋）：

第1面上に形成された所定のパターンと、被検面上に対して斜め方向から前記所定のパターンを投射する投射光学系と、前記被検面で反射した光束を集光して前記所定のパターンの像を第2面上に結像する集光光学系と、前記所定のパターンの像を光電的に検出する検出器とを備え、該検出器の出力に基づいて前記被検面の面位置を検出する面位置検出装置において、少なくとも前記投射光学系と前記集光光学系との一方は、変倍レンズ群を含む変倍光学系部と、前記被検面に投射される光束と前記被検面で反射した光束との少なくとも一方の光束の所定方向の開き角を制限するための開き角制限部材とを備え、該開き角制限部材と前記変倍レンズ群との配置順序が変更できることを特徴とする面位置検出装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/32 ,  G02B 15/00 ,  G03F 9/00

FI (5件)：

H01L 21/30 526 B ,  G02B 15/00 ,  G03F 9/00 H ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 B

Fターム (25件)：

2H051AA10 ,  2H051BB25 ,  2H051CA10 ,  2H051CB05 ,  2H051CB07 ,  2H051CB11 ,  2H051CB14 ,  2H051CC13 ,  2H051CD09 ,  2H051CE27 ,  2H087KA21 ,  2H087LA24 ,  2H087LA27 ,  2H087NA02 ,  2H087PA06 ,  2H087QA02 ,  2H087QA06 ,  2H087RA37 ,  2H087RA41 ,  2H087RA44 ,  2H087RA46 ,  5F046BA03 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DC10