特許
J-GLOBAL ID:200903061849559847

サブマウントミラー方式面型レーザ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大胡 典夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-278766
公開番号(公開出願番号):特開2000-114655
出願日: 1998年09月30日
公開日(公表日): 2000年04月21日
要約:
【要約】【課題】 サブマウントを用いた小型で安価な面発光レーザの提供すること。【解決手段】 任意の角度をもつマイクロミラーを傾斜マウントの上に搭載することにより、所望の角度に光を取り出すことを可能とし、小型化と低コスト化を同時に達成する。特に、安価に供給される立方晶あるいはZincblendeの(100)just基板を用い、形成された54°の(111)面ミラーと18°の傾斜をもつマウントとを組み合わるか、あるいはサブマウントの裏面に18°の傾斜を形成することにより、実効的に小型、低コストの垂直取り出しミラーを形成する。また、立方晶あるいはZincblendeの(100)18°オフ基板利用した場合には、従来は利用していなかった63°(111)面を利用することができ、36°の傾斜をもつマウント組み合わせるか、あるいはサブマウントの裏面に36°の傾斜を形成することにより、実効的に小型、低コストの垂直取り出しミラーを形成する。
請求項(抜粋):
半導体レーザをマウントし、該半導体レーザから出射されたレーザ光の光路を屈曲させるマイクロミラーを併せ持つレーザサブマウントを有する半導体レーザ装置において、該マイクロミラーが結晶からなり、ミラー面には結晶面を用いることを特徴とする半導体レーザ装置であって、該レーザサブマウントを搭載半導体レーザのストライプ軸方向とベースユニットが平行にならないように該ベースユニットに固定したサブマウントミラー方式面型レーザ。
Fターム (9件):
5F073AB15 ,  5F073AB19 ,  5F073BA02 ,  5F073CA14 ,  5F073CB02 ,  5F073DA23 ,  5F073FA13 ,  5F073FA16 ,  5F073FA30
引用特許:
審査官引用 (3件)

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