特許
J-GLOBAL ID：200903061856840691
荷電ビーム加速装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
児玉 俊英 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-255555
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068500
出願日： 2001年08月27日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：
【要約】【課題】 真空排気経路の実効断面積が小さくならないで、高周波シールドのシールド効果も確保できる荷電ビーム加速装置を提供する。【解決手段】 荷電ビームを加速する加速空洞1と、この加速空洞1の側部に設けられた真空ポート13と、真空ポート13内に設けられた高周波シールド15と、真空ポート13に繋がれた真空ポンプ18とを有し、高周波シールド15を真空ポート13の加速空洞1の内面よりも真空ポンプ18側に離して配置した構成とした。このように構成したことにより、高周波シールド15部分の電磁場強度が小さくなって高周波シールド15に流れる遮蔽電流が少なくなり、加熱が抑制される。
請求項（抜粋）：
荷電ビームを加速する加速空洞と、該加速空洞の側部に設けられた真空ポートと、該真空ポート内に設けられた高周波シールドと、上記真空ポートに繋がれて加速空洞の真空状態を維持する真空ポンプとを有する荷電ビーム加速装置において、上記高周波シールドは真空ポートの上記加速空洞の内面よりも真空ポンプ側に離して配置したことを特徴とする荷電ビーム加速装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2G085AA13
, 2G085BA05
, 2G085BB01
, 2G085BB20
, 2G085BD06
, 2G085BD09
, 2G085BE07
, 2G085CA04
, 2G085CA14
