特許
J-GLOBAL ID：200903061858397582
波長安定化外部共振器型LD光源
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-254854
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097516
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 高精度な温度制御や波長基準になる光学素子を必要とせず、任意の波長で即座に安定化する波長安定化外部共振器型LD光源を提供する。【構成】 片端面に無反射膜が施されたLD光源の外部鏡として、回折格子は共振器方向に微動する平行移動機構上に配置され、温度検出素子は光学系ベース台の温度変化を検出し、平行移動機構上に配置された回折格子の位置をピエゾ素子で位置制御し、温度変化による共振器長変化を補正制御して、LD光源の波長を安定化する。
請求項（抜粋）：
一方の端面に無反射膜(1A)を施し、LD駆動回路(20)により駆動するLD光源(1) と、LD光源(1) の出射光を平行光に変換するレンズ(2)と、無反射膜(1A)が施された端面から出射された出射光を入射する回折格子(4)とを光学系ベース台(5) 上に備え、回折格子(4) とLD光源(1) の無反射膜(1A)が施されていない他の一方の端面とで外部共振器を形成し、LD光源(1) の近傍に設ける第1の温度検出素子(7A)で温度を検出して温度制御回路(11)によりペルチェ素子(12A) を制御してLD光源(1) の温度変化を抑えて他の一方の端面から出射光を出力する外部共振器型LD光源において、光学系ベース台(5) に固定し、回折格子(4) を共振器方向に移動する平行移動機構(6) と、光学系ベース台(5) 上に設け、光学系ベース台(5) の温度を検出する第2の温度検出素子(7B)と、第2の温度検出素子(7B)の出力を入力とする温度検出信号処理回路(9) と、温度検出信号処理回路(9) の出力を入力とし、ピエゾ素子(8) の電圧を制御するピエゾ素子用電圧制御回路(10)と、ピエゾ素子用電圧制御回路(10)の出力を入力とし、平行移動機構(6) を共振器方向に駆動するピエゾ素子(8) を備え、光学系ベース台(5) の温度変化を検出し、ピエゾ素子(8) により平行移動機構(6) を駆動して共振器長の変化を吸収し、波長を安定化することを特徴とする波長安定化外部共振器型LD光源。
IPC (3件)：
H01S 3/18
, G01J 1/08
, H01S 3/133
