特許

J-GLOBAL ID：200903061874045017

顕微分光装置および顕微分光装置による分光データ測定方法

発明者： 林 尚久
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044349
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230829
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 光学系の色収差にかかわらず分光データを正確に測定することができる顕微分光装置および顕微分光装置による分光データ測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】 顕微分光装置は、照明光を測定試料1に導く照明光学系3と、測定試料1において反射された光を回折格子6に導く結像光学系4と、結像光学系4の対物レンズ23を移動させるための移動機構5と、回折格子6により分光された分光スペクトルを測定するラインセンサ7と、メモリ8と、ピーク値検出回路9と、分光データ記憶部10とを有する。メモリ8は、対物レンズ23を複数の測定位置に移動させたときの、ラインセンサ7による各分光スペクトルの測定値を記憶する。ピーク値検出回路9は、メモリ8に記憶した測定値からピーク値を特定波長ごとに検出する。分光データ記憶部10は、検出されたピーク値を分光データとして記憶する。

請求項（抜粋）：

照明光を出射する光源と、測定試料において反射された観察光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された光の強度を波長ごとに測定する測定手段と、前記測定試料における測定領域にのみ照明光が照射されるように、前記光源から出射される照明光を制限する視野絞りを備えた照明光学系と、前記測定試料の像を前記分光手段の入射ピンホール上に結像させる結像光学系と、前記結像光学系を構成するレンズ、前記分光手段または前記測定試料のいずれかを複数の測定位置に移動させる移動手段と、前記複数の測定位置において、前記測定手段により測定された測定値を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記測定値のピーク値を波長ごとに検出するピーク値検出手段とを備え、前記ピーク値検出手段により検出した複数のピーク値を分光データとすることを特徴とする顕微分光装置。