特許

J-GLOBAL ID：200903061874370970

表面弾性波素子

発明者： 佐藤 崇 ,  尾崎 恭輔 ,  和賀 聡
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-336136
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141768
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 高周波化、温度特性の安定化が図れ、従来より広帯域なフィルタ、アンテナ共用器を実現し得るSAW素子を提供する。【解決手段】 本発明のSAW素子1は、シリコン基板2上に下層側からダイヤモンド膜3、金属膜4、圧電体膜5、シリコン酸化膜8が積層されるとともに、圧電体膜5とシリコン酸化膜8との間にIDT電極6および反射器7が設けられたものである。そして、圧電体膜5の膜厚およびシリコン酸化膜8の膜厚が、励振される表面弾性波のモードのうち、0次モードの音速と1次モードの音速とが等しくなる膜厚の値にそれぞれ設定されている。

請求項（抜粋）：

基板上に下層側からダイヤモンド膜、圧電体膜、シリコン酸化膜が積層されるとともに、前記圧電体膜と前記シリコン酸化膜との間に電極が設けられ、前記圧電体膜の膜厚および前記シリコン酸化膜の膜厚が、励振される表面弾性波のモードのうち、0次モードの音速と1次モードの音速とが等しくなる膜厚の値にそれぞれ設定されたことを特徴とする表面弾性波素子。

Fターム (12件)：

5J097AA13 ,  5J097AA19 ,  5J097AA23 ,  5J097BB11 ,  5J097BB15 ,  5J097EE08 ,  5J097FF01 ,  5J097FF02 ,  5J097FF05 ,  5J097FF08 ,  5J097KK05 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 表面弾性波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-222475   出願人：住友電気工業株式会社
• 表面弾性波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-021598   出願人：住友電気工業株式会社