特許
J-GLOBAL ID：200903061879671978
半田ボール検査装置、及びその検査方法、並びに形状検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 田中 克郎
, 大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-317523
公開番号（公開出願番号）：特開2009-139285
出願日： 2007年12月07日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：
【課題】複雑な光学系を用いることなく、正確に半田ボールの高さを検査すること。【解決手段】光源14からの照明光L1を半透明鏡18を介して半田ボール12iの真上に向けて照射し、その反射光を凸レンズ20を介してカメラ22で受光して撮像し、半田ボール12の頂点を光点として検出する。一方、光源16からの照明光L2を半田ボール12iの斜め上方から照射し、その反射光を凸レンズ24を介してカメラ26で受光して撮像し、半田ボール12iの頂点の高さの変化を検出する。カメラ22の撮像による半田ボール12iの頂点とカメラ26の撮像による半田ボール12iの頂点の高さの変化との差を半田ボール12iの高さとして検出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体チップ上に分散して形成された半田ボール群の高さを検出する半田ボール検査装置において、
前記半田ボール群のうち検査対象の半田ボールに対して、前記半導体チップに立てた仮想の垂線と平行な照明光を照射する第1の光学系と、
前記検査対象の半田ボールに対して、前記仮想の垂線と交差する斜め照明光を照射する第2の光学系と、
前記第1の光学系から前記検査対象の半田ボールに照射された照明光の反射光を受光して撮像する第1の撮像手段と、
前記第2の光学系から前記検査対象の半田ボールに照射された斜め照明光の反射光を受光して撮像する第2の撮像手段と、
前記第1の撮像手段の撮像による第1の画像と前記第2の撮像手段の撮像による第2の画像をそれぞれ同一の座標系で処理する画像処理手段と、
前記画像処理手段の処理結果を基に前記第1の画像に属する半田ボールの光点位置と前記第2の画像に属する半田ボールの光点位置との差を前記検査対象の半田ボールの高さとして算出し、算出結果を評価する評価手段と、を備えてなる半田ボール検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
2F065AA24
, 2F065CC26
, 2F065EE08
, 2F065FF04
, 2F065HH03
, 2F065HH12
, 2F065HH13
, 2F065JJ05
, 2F065JJ08
, 2F065JJ09
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
