特許
J-GLOBAL ID：200903061883215090
液体吐出ヘッド用基板ユニットおよびその製造方法ならびに液体吐出ヘッド,カートリッジおよび画像形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-250081
公開番号（公開出願番号）：特開2001-130003
出願日： 2000年08月21日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：
【要約】【課題】 電気熱変換素子を覆う保護層を薄くすることが種々の要因から困難であって耐久性に乏しく、インクの急速加熱による発泡安定性を向上させることができない。【解決手段】 基板11に形成された電気熱変換素子18と、この電気熱変換素子18に導通するように基板11に形成される一対の電極配線14a,14bと、基板11の全域に形成されて電極配線14a,14bおよび電気熱変換素子18を覆う2600〜3400Åの厚みの第1保護層17と、この第1保護層17の表面に形成されて前記電気熱変換素子18およびこれと電極配線14a,14bとの接続部を覆う第2保護層16とを具え、電極配線14a,14bの厚みを1800〜2400Åの範囲に収め、第2保護層16によって覆われていない第1保護層17の部分の厚みを第2保護層16によって覆われた第1保護層17の部分の厚みよりも薄くした。
請求項（抜粋）：
液体に熱エネルギーを付与して膜沸騰を生じさせ、これによって吐出口から液滴を吐出する液体吐出ヘッドに用いられる基板ユニットであって、基板の表面部に形成されて熱エネルギーを発生するための電気熱変換素子と、この電気熱変換素子に導通するように前記基板の表面部に形成される一対の電極配線と、前記基板の表面部のほぼ全域に形成されて前記一対の電極配線および前記電気熱変換素子を覆う第1保護層と、この第1保護層の表面に形成されて前記電気熱変換素子およびこの電気熱変換素子と前記一対の電極配線との接続部近傍を覆う第2保護層とを具え、前記一対の電極配線の厚みは1800〜2400Åの範囲にあり、前記第2保護層によって覆われた前記第1保護層の部分の厚みは2600〜3400Åの範囲にあり、前記第2保護層によって覆われていない前記第1保護層の部分の厚みは、前記第2保護層によって覆われた前記第1保護層の部分の厚みよりも薄いことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板ユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
