特許

J-GLOBAL ID：200903061889889831

膜型圧電セラミック素子およびその製造方法

発明者： 永原 英知 ,  雨宮 清英 ,  塩屋 和秀 ,  井垣 恵美子 ,  棚橋 正和
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-168117
公開番号（公開出願番号）：特開2001-352111
出願日： 2000年06月05日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】膜部と基盤を一体成形でき、膜型素子の形状を自在に制御することが可能である膜型圧電セラミック素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも2つの電極5を有する膜型圧電セラミック素子1の膜部4を、シート状の圧電前駆材を基盤に接合・焼結させて一体形成する。また膜部と基盤の焼結時の収縮率を変えること、膜部に収縮率の分布を持たせることで任意の形状の膜部を高精度に形成できる。

請求項（抜粋）：

基盤部と、基盤部に固定された膜部と、前記膜部に形成された少なくとも二つの電極を有し、前記基盤部と膜部及び電極は焼結により一体成形したことを特徴とする膜型圧電セラミック素子。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  G01L 1/16 ,  H01L 41/22 ,  B06B 1/06 ,  H02N 2/00

FI (8件)：

G01L 1/16 A ,  G01L 1/16 C ,  B06B 1/06 Z ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/22 Z

Fターム (6件)：

5D107AA12 ,  5D107AA13 ,  5D107BB20 ,  5D107CC02 ,  5D107CC03 ,  5D107CC12