特許

J-GLOBAL ID：200903061897204813

アライメント用対物レンズ

発明者： 宮下 智裕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-159222
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350721
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で安価であり、かつ諸収差が良好に補正され、製造誤差に対して収差の劣化が少ないアライメント用の対物レンズを提供することができる。【解決手段】物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群とから構成され、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群とを構成するすべてのレンズ成分の各レンズ面において以下の条件を満足する事を特徴とするアライメント用対物レンズを提供する。(1) sinα<0.4(2) d/D>0.3ただし、α:前記各レンズ面を通過する光線が、前記各レンズ面の法線となす角度,d:前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との距離,D:物体面から最も像側のレンズ成分の像側頂点までの距離.

請求項（抜粋）：

物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、負の屈折力を有する第2レンズ群とから構成され、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群とを構成するすべてのレンズ成分の各レンズ面において以下の条件式(1)を満足し、(1) sinα<0.4ただし、α:前記各レンズ面を通過する光線が、前記各レンズ面の法線となす角度,さらに、以下の条件式(2)を満足する事を特徴とするアライメント用対物レンズ。(2) d/D>0.3ただし、d:前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との距離,D:物体面から最も像側のレンズ成分の像側頂点までの距離.

IPC (3件)：

G02B 13/00 ,  G02B 13/02 ,  G02B 13/18

FI (3件)：

G02B 13/00 ,  G02B 13/02 ,  G02B 13/18

Fターム (19件)：

2H087KA12 ,  2H087LA02 ,  2H087LA21 ,  2H087PA03 ,  2H087PA04 ,  2H087PA19 ,  2H087PB05 ,  2H087PB06 ,  2H087QA03 ,  2H087QA06 ,  2H087QA19 ,  2H087QA21 ,  2H087QA25 ,  2H087QA39 ,  2H087QA41 ,  2H087QA45 ,  2H087RA05 ,  2H087RA13 ,  2H087RA45