特許
J-GLOBAL ID：200903061900587427
位置合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-276125
公開番号（公開出願番号）：特開平8-115873
出願日： 1994年10月14日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 レチクルとウエハとの相対的な位置合わせを高精度に行うことのできる位置合わせ装置を得ること。【構成】 第1物体と第2物体との相対的な位置合わせを行う際、照明手段で照明した該第2物体面上のアライメントマークを観察手段で観察し、該観察手段で観察した該第2物体面上のアライメントマークの位置計測を行う第1検出手段と、該第2物体を該観察手段の光軸方向に駆動させる駆動手段と、該観察手段で観察している該第2物体面上の該観察手段の光軸方向の位置を検出する第2検出手段と、該第1検出手段による位置計測時における該観察手段のフォーカスから観察時のデフォーカス量を検知し、該検知したデフォーカス量から位置計測補正量を算出して位置計測値を補正する演算手段とを利用していること。
請求項（抜粋）：
第1物体と第2物体との相対的な位置合わせを行う際、照明手段で照明した該第2物体面上のアライメントマークを観察手段で観察し、該観察手段で観察した該第2物体面上のアライメントマークの位置計測を行う第1検出手段と、該第2物体を該観察手段の光軸方向に駆動させる駆動手段と、該観察手段で観察している該第2物体面上の該観察手段の光軸方向の位置を検出する第2検出手段と、該第1検出手段による位置計測時における該観察手段のフォーカスから観察時のデフォーカス量を検知し、該検知したデフォーカス量から位置計測補正量を算出して位置計測値を補正する演算手段とを利用していることを特徴とする位置合わせ装置。
IPC (2件)：
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