特許
J-GLOBAL ID：200903061901830929
疵検査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
櫻井 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-124192
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306164
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】〔目的〕 操作が簡単で検査時間が短縮できると共に検査精度を向上でき、しかも疵と異物の付着などによる汚れとの弁別が可能な疵検査装置を提供する。〔構成〕 検査対象の物体(W) の表面を照明する照明装置と、照明された物体の表面を撮影する単一又は複数の撮影装置(CM)と、この撮影装置から離れた箇所に設置されこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する表示装置(DP)から構成されている。上記照明装置は、上記離れた箇所で発せられる指令に従い検査対象の物体の上空に形状された環状の軌道(G) に沿って移動することによりこの軌道の中心の直下を中心とする物体の表面を異なる方向から照明する単一の照明器具(L) を備えている。
請求項（抜粋）：
検査対象の物体の表面を照明する照明装置と、照明された物体の表面を撮影する単一又は複数の撮影装置と、この撮影装置から離れた箇所に設置されかつこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する表示装置とを備えた疵検査装置において、前記照明装置は、前記離れた箇所で発せられる指令に従い前記検査対象の物体の上空に形成された環状の軌道に沿って移動することによりこの軌道の中心の直下を中心とする前記物体の表面を異なる方向から照明する単一の照明器具を備えたことを特徴とする疵検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01N 21/88
, G06T 7/00
