特許

J-GLOBAL ID：200903061903494500

塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および方法

発明者： 北村 義之 ,  佐久間 勇 ,  谷 義則
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169142
公開番号（公開出願番号）：特開2000-354810
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 ダイコータ外から特別な装置を導入せずに、大型基板に対応する長尺幅・大重量ダイの交換を容易に行えるようにして、ダイ脱着に伴うロス時間を最小で生産性を向上させることが可能な塗布装置および塗布方法、並びにこれらの塗布方法および装置を用いたプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】 塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記塗布液供給手段から供給された塗布液を被塗布部材に吐出する吐出口を有する塗布器と、前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成するための移動手段とを備えた塗布装置であって、前記塗布器を塗布を実行するための位置と実行しない位置とに着脱する塗布器着脱手段を塗布装置内部に備えていることを特徴とする塗布装置、塗布方法、並びにそれらを用いたプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造装置および方法。

請求項（抜粋）：

塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記塗布液供給手段から供給された塗布液を被塗布部材に吐出する吐出口を有する塗布器と、前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成するための移動手段とを備えた塗布装置であって、前記塗布器を塗布を実行するための位置と実行しない位置とに着脱する塗布器着脱手段を塗布装置内部に備えていることを特徴とする塗布装置。

IPC (5件)：

B05C 5/00 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

B05C 5/00 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  H01L 21/30 564 Z

Fターム (23件)：

2H025AA00 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  4F041AA05 ,  4F041CA02 ,  4F041CA16 ,  4F041CA18 ,  4F041CA22 ,  5C027AA09 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA15 ,  5C040JA31 ,  5C040KA07 ,  5C040KA16 ,  5C040KB13 ,  5C040MA25 ,  5C040MA26 ,  5F046JA00 ,  5F046JA01 ,  5F046JA27

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-165305   出願人：ソニー株式会社
• プラズマディスプレイパネル用無機ペースト層の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-309495   出願人：東京応化工業株式会社
• 塗布用ダイ移動装置および塗布用ダイの着脱方法並びにそれを用いた塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-308731   出願人：東レ株式会社
• 簡易金型交換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-059789   出願人：日精樹脂工業株式会社