特許

J-GLOBAL ID：200903061927698310

クリーム半田バンプの形状測定方法および形状測定装置

発明者： 石原 正康 ,  塩見 俊夫 ,  藤本 明男
出願人/特許権者： アート電子株式会社
代理人 (2件)： 大庭 咲夫 ,  加藤 慎治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-192787
公開番号（公開出願番号）：特開2005-030774
出願日： 2003年07月07日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

【課題】クリーム半田バンプを、その高さを含む立体形状まで高精度で測定する。【解決手段】第1および第2スリット光源31,32は、プリント基板10の上方に配置され、プリント基板10の上面に形成されたクリーム半田バンプに斜め上方両側から一対のスリット光をほぼ平行に照射する。カメラ33も、プリント基板10の上方に設けられて、クリーム半田バンプを撮像する。プリント基板10を載置したステージ20はスライドアクチュエータ21によって駆動されて、クリーム半田バンプの上面がスリット光で走査される。カメラ33によるスリット光の走査画像を表す画像データは、コンピュータ本体部41に順次転送される。コンピュータ本体部41は、この順次転送された複数組の画像データを用いて、光切断法に従った画像処理によってクリーム半田バンプの形状を測定する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

プリント基板の上面に形成されたクリーム半田バンプにプリント基板の上面に対して斜め上方両側から一対のスリット光をほぼ平行に照射するとともに、クリーム半田バンプの表面を前記一対のスリット光でそれらの長尺方向と直角方向に走査し、 前記走査中にプリント基板の上方からクリーム半田バンプを順次撮像して、同撮像によるクリーム半田バンプに照射された前記一対のスリット光の画像を順次取得し、かつ 前記順次取得した一対のスリット光を表す複数の画像を用いて、光切断法に従った画像処理によりクリーム半田バンプの形状を測定するようにしたことを特徴とするクリーム半田の形状測定方法。

IPC (3件)：

G01B11/25 ,  H01L21/60 ,  H05K3/34

FI (4件)：

G01B11/24 E ,  H01L21/60 311Q ,  H01L21/60 321Y ,  H05K3/34 512B

Fターム (23件)：

2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065CC01 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL62 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ23 ,  2F065SS13 ,  5E319AA03 ,  5E319AB05 ,  5E319AC01 ,  5E319BB05 ,  5E319CD04 ,  5E319CD29 ,  5E319CD53 ,  5F044KK19 ,  5F044LL01