特許
J-GLOBAL ID:200903061937618861
干渉計
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-312826
公開番号(公開出願番号):特開2000-146514
出願日: 1998年11月04日
公開日(公表日): 2000年05月26日
要約:
【要約】【課題】被検面の面形状や、光学系の波面収差を測定するときに、フォーカス調整をしても収差変動が少なく、高精度な測定ができる干渉計を提供する。【解決手段】光源1から射出した光を測定光と参照光とに分割し、測定光を被検面6に入射させ、被検面6で反射した測定光と参照光との干渉によって形成される干渉縞を検出器9にて検出する干渉計において、測定光と参照光とが干渉した後の干渉光路に、干渉光路の光路長を変更することができる可動ミラー7b、7cを備えた。
請求項(抜粋):
光源から射出した光を測定光と参照光とに分割し、該測定光を被検面に入射させ、該被検面で反射した測定光と前記参照光との干渉によって形成される干渉縞を検出器にて検出する干渉計において、前記測定光と参照光とが干渉した後の干渉光路に、該干渉光路の光路長を変更することができる可動ミラーを備えたことを特徴とする干渉計。
IPC (3件):
G01B 9/02
, G01B 11/24
, G01J 9/02
FI (4件):
G01B 9/02
, G01B 11/24 D
, G01B 11/24 M
, G01J 9/02
Fターム (29件):
2F064AA09
, 2F064BB04
, 2F064BB05
, 2F064CC10
, 2F064EE02
, 2F064EE05
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F064GG20
, 2F064GG23
, 2F064GG38
, 2F064GG47
, 2F064GG52
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F065AA54
, 2F065CC21
, 2F065DD03
, 2F065FF52
, 2F065GG04
, 2F065HH03
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL09
, 2F065LL10
, 2F065LL12
, 2F065LL19
, 2F065LL36
, 2F065LL37
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