特許
J-GLOBAL ID：200903061940969667
基板吸着保持装置及び配線基板ユニットの製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-106988
公開番号（公開出願番号）：特開2007-276065
出願日： 2006年04月07日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】フレキシブル基板の表面形状をより平坦にした状態でこの基板を確実に吸着保持する。【解決手段】本発明の配線基板ユニットの製造装置1が備えるフレキハンド9は、フレキシブル基板の一方の主面12を当接させる基板当接面64とこの基板当接面64に開口する吸気穴34とが形成された基板当接部材33と、フレキシブル基板27の一方の主面12を吸着する基板吸着面63を有し、吸気穴34の開口端から基板吸着面63を突出させた状態で吸気穴34内に配置され、かつ吸気作用により収縮可能なスポンジゴム製の基板吸着部材32と、基板吸着部材32を吸引してフレキシブル基板27を吸着させた基板吸着面63が基板当接面64に対して同一平面となるように吸気穴34内の吸気を行う吸気機構71とを備える。【選択図】図11b
請求項（抜粋）：
配線基板の表面を当接させる基板当接面とこの基板当接面に開口する吸気穴とが形成された基板当接部材と、
前記吸気穴につながる内部吸気路を開口させた基板吸着面を有し、前記吸気穴の開口端から前記基板吸着面を突出させた状態で前記吸気穴内に配置され、かつ吸気作用により収縮可能な部位を備える基板吸着部材と、
前記基板吸着部材を吸引して前記配線基板を吸着させた前記基板吸着面が前記基板当接面に対して同一平面となるように前記吸気穴内の吸気を行う吸気機構と、
を具備することを特徴とする基板吸着保持装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
3C007FS01
, 3C007FT08
, 3C007GU01
, 3C007NS12
