特許
J-GLOBAL ID：200903061941180285
光散乱測定を利用した物質の構造解析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀井 弘勝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-095219
公開番号（公開出願番号）：特開平7-301602
出願日： 1994年05月09日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：
【要約】【構成】散乱強度パターンの二次元検出を行い(ブロック?@)、方位角μを変えて同心円状にサンプリングし(ブロック?A)、方位角μの関数としてフーリエ係数を求める(ブロック?B)。得られたフーリエ係数は、理論から得られる散乱強度の方位角μ又はその整数倍の三角関数の多項式の各係数に相当し、粒子の大きさ、長さ、配向角等の物性値の関数になっているので、方位角μが含まれていない連立方程式を得ることができる。この連立方程式を解けば(ブロック?C)、前記種々の物性値を数値として得ることができる(ブロック?D)。【効果】従来のパターンの近似度からミクロ構造を推定する手法や、一次元測定データから物性値を求める手法と比較して、ノイズの影響のない精度のよい測定ができ、また、従来の解析法では不可能であった特定の物性値についての数値化も可能になる。
請求項（抜粋）：
試料に平行ビームを照射する光源と、偏光子と、検光子と、レンズと、検出器とを有し、前記試料に前記偏光子を通った前記平行ビームを照射し、前記検光子を通して前記検出器の結像面に形成される散乱光のパターンを測定する光散乱測定装置に適用され、同一散乱角θにおいて、方位角μを変えて結像面の画像強度データを同心円状にサンプリングするサンプリング手段と、サンプリングされた強度データから、方位角μに関するフーリエ係数を求めるフーリエ係数抽出手段と、各フーリエ係数を、散乱理論から得られる関数に当てはめて、前記試料を構成する物質のミクロ構造に関する物性値を求める解析手段とを備えることを特徴とする物質の構造解析装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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