特許

J-GLOBAL ID：200903061941717475

グレーズド基板

発明者： 豊田 誠司 ,  黒光 祥郎 ,  菅村 邦夫 ,  中林 明
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-013505
公開番号（公開出願番号）：特開平8-204302
出願日： 1995年01月31日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 ファインラインでファインピッチの微細な回路パターンに対してパターン切れを起こすことなく金属薄膜を形成でき、金属薄膜の密着性が高い。【構成】 Al2O3基板、AlN基板、SiC基板、タングステン基板、モリブデン基板、銅基板等の基板11上のガラス層12の表面に貴金属有機化合物を含むペーストを塗布し焼成してなる金属薄膜13が形成される。

請求項（抜粋）：

基板(11)上にガラス層(12)を備えたグレーズド基板(10)において、前記ガラス層(12)上に貴金属有機化合物を含むペーストを塗布し焼成してなる金属薄膜(13)が形成されたことを特徴とするグレーズド基板。

IPC (4件)：

H05K 1/05 ,  C04B 41/89 ,  H05K 1/03 630 ,  H05K 1/09