特許

J-GLOBAL ID：200903061949732520

描画装置

発明者： 石橋 雅義 ,  平家 誠嗣 ,  橋詰 富博 ,  和田 恭雄 ,  梶山 博司
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-159632
公開番号（公開出願番号）：特開平11-073906
出願日： 1998年06月08日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】 解像度が高くかつ高速に描画できる描画装置を提供すること。【解決手段】 集積化した探針を用い、探針と基板表面との距離の制御は端部の探針のみで行い、描画に使用する探針は探針に印加される電圧によるクーロン力によるカンチレバーの変形により追従させる。

請求項（抜粋）：

複数の探針、前記複数の探針のそれぞれを保持する複数のバネ部、前記複数の探針のバネ部を一括して保持するホルダー、該ホルダーを移動させて前記探針と被描画対象であるレジスト層で表面が覆われた基板とを相対的に近づけるための粗動機構、前記複数の探針の端部にある探針と基板との傾きを補正するための移動機構、前記基板と複数の探針とを相対的に基板面上でX-Y駆動するための駆動機構、前記各機構を制御するための制御装置、前記探針へ電流を供給する装置、前記探針へ供給される電流の検出手段、前記探針へ供給される電流の目標値と検出値とを一致させるための制御装置、前記各制御装置に対して描画のパターンに応じた目標値を与えるためのパターン入力装置を備える描画装置。

IPC (4件)：

H01J 37/30 ,  G01N 37/00 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01J 37/30 Z ,  G01N 37/00 F ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 Z