特許
J-GLOBAL ID：200903061951696778
レジスト膜画像の除去方法、及びそれに用いる硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-297070
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151300
出願日： 1992年11月06日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの各種微細加工部品の製造時におけるレジスト膜画像を形成する工程において、レジスト材からなる画像を除去する方法、及びこれに用いる硬化型感圧接着剤、あるいはそのシート状物、テープ状物などの接着シート類を提供する。【構成】 レジスト材からなる画像が存在する物品上に、レジスト材との親和性が良好な不揮発性酸系化合物を含有させてなる硬化型感圧性接着剤、もしくは不飽和二重結合を有するスルホン酸系モノマーを共重合してなる硬化型感圧性接着剤を用いた接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離する。
請求項（抜粋）：
レジスト材からなる画像が存在する物品上に、レジスト材との親和性が良好な不揮発性酸系化合物を含有させてなる硬化型感圧性接着剤を用いた接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離することを特徴とするレジスト膜画像の除去方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, C09J133/10 JDE
, G03F 7/42
