特許

J-GLOBAL ID：200903061959663216

乾燥装置の空冷流路制御機構およびその方法

発明者： 平 渡 紀 行 ,  綿 貫 稔
出願人/特許権者： 株式会社オーク製作所
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-069758
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273427
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】乾燥装置に大容量の放電灯を使用しても的確に冷却でき、クリーンルームなどの作業環境を一定基準に維持し易く、放電灯の光照射量の増減を行っても放電灯が立ち消えせず、かつ的確に冷却でき、放電灯の熱によるワークへの悪影響を抑える乾燥装置およびその方法。【構成】乾燥装置1の筐体内に空冷室12を設けると共に、その空冷室12内に光源装置2を設け、前記光源装置2を空冷する空冷気体の供給ダクト8、9および排出ダクト10を前記空冷室12に接続し、前記供給ダクト8、9から光源装置2の放電灯3および反射鏡4を冷却する第1冷却流路aを形成すると共に、前記供給ダクト8,9から排出ダクト10側に連通する第2冷却流路bとを形成し、前記両冷却流路a,bを、前記放電灯3の光照射量に対応させて使用する乾燥装置の空冷流路制御機構として構成した。

請求項（抜粋）：

乾燥装置の筐体内に空冷室を設けると共に、その空冷室内に光源装置を設け、前記光源装置を空冷する空冷気体の供給ダクトおよび排出ダクトを前記空冷室に接続し、前記供給ダクトから光源装置の放電灯および反射鏡を冷却する第1冷却流路を形成すると共に、前記供給ダクトから排出ダクト側に連通する第2冷却流路とを形成し、前記両冷却流路を、前記放電灯の光照射量に対応させて使用することを特徴とする乾燥装置の空冷流路制御機構。