基板検査用X線カメラおよびX線基板検査装置ならびにX線基板検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松村博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029876
公開番号（公開出願番号）：特開平11-231056
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 CCDセンサへのX線の直接の照射線量を軽減させて、CCDセンサの焼付現象の発生を抑え、CCDセンサの寿命を向上させる。【解決手段】 X線源1から基板2に照射したX線において、基板2を透過したX線をろ過板4に入射して軟X線をろ過し、ろ過板4からのX線をシンチレータ5が可視光に変換し、この可視光を反射プリズム10で偏向して、シンチレータ5を透過するX線を避ける位置に配置されたCCDセンサ6に入射させる。このとき、シンチレータ5によって可視光に変換されなかったX線は反射プリズム10を透過するため、CCDセンサ6は可視光のみを受光するようになる。

請求項（抜粋）：

X線を可視光に変換する波長変換手段と、この波長変換手段を透過するX線を避ける位置に配置された電荷結合素子と、前記波長変換手段からの可視光を偏向して前記電荷結合素子に導く偏向手段とを備えたことを特徴とする基板検査用X線カメラ。

IPC (4件)：

G01T 1/00 , G01N 23/04 , G01T 1/20 , G21K 4/00

FI (4件)：

G01T 1/00 D , G01N 23/04 , G01T 1/20 C , G21K 4/00 A

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