特許

J-GLOBAL ID：200903061967997255

研磨用組成物

発明者： 蔡 明雄 ,  陳 麗梅 ,  葉 宇欽 ,  謝 秋枝 ,  陳 盈淙
出願人/特許権者： 財団法人工業技術研究院 ,  長春石油化学股▲フン▼有限公司 ,  中國鋼鐵股▲フン▼有限公司 ,  聯成石油化学股▲フン▼有限公司 ,  真茂企業股▲フン▼有限公司 ,  中國石油化学工業開發股▲フン▼有限公司 ,  華宏新技股▲フン▼有限公司 ,  長興化学工業股▲フン▼有限公司 ,  中國石油股▲フン▼有限公司
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-136837
公開番号（公開出願番号）：特開平11-279538
出願日： 1998年05月19日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：

【要約】【課題】 研磨用のスラリーとして使用するのに適したチキソトープ流体特性を有する研磨用組成物を提供すること。【解決手段】 100重量部の水に対して、0.5〜20重量部のAlOOH水和物、1〜50重量部の酸化アルミニウムおよび1〜20重量部の酸性溶液を含んでなる研磨用組成物。

請求項（抜粋）：

100重量部の水に対して、0.5〜20重量部のAlOOH水和物、1〜50重量部の酸化アルミニウムおよび1〜20重量部の酸性溶液を含んでなる研磨用組成物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  H01L 21/304 622 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平1-188264