特許

J-GLOBAL ID：200903061970386933

サセプタ・システム

発明者： マカリ,ジヤコモ・ニコラオ ,  バレンテ,ジヤンルカ ,  コーデイナ,オル ,  プレテイ,フランコ ,  クリツパ,ダニロ
出願人/特許権者： イー・テイ・シー・エピタキシヤル・テクノロジー・センター・エス・アール・エル
代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-558343
公開番号（公開出願番号）：特表2006-513559
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

本発明は基板及び/又はウエーハを処理するのに適したタイプの装置のためのサセプタ・システムに関する。そのサセプタ・システムには空間(1)が設けられ、基板及び/又はウエーハの処理のためのチャンバーとして機能し、かつ、長手方向に伸びていて、上側の壁(2)により、下側の壁(3)により、右側の壁(4)により、左側の壁(5)により範囲を定められている。上側の壁(2)は電磁誘導による加熱に適した導電性材料の少なくとも1個の部品により構成され、下側の壁(3)は電磁誘導による加熱に適した導電性材料の少なくとも1個の部品により構成される。右側の壁(4)は不活性で、耐熱性で、電気的絶縁性の材料の少なくとも1個の部品により構成され、左側の壁(5)は不活性で、耐熱性で、電気的絶縁性の材料の少なくとも1個の部品により構成される。それゆえ、上側の壁(2)の部品は下側の壁(3)の部品から電気的に十分絶縁される。

請求項（抜粋）：

基板及び/又はウエーハを処理するのに適したタイプの装置のためのサセプタ・システムで、そのサセプタ・システムには、基板及び/又はウエーハの処理チャンバーとして機能し、かつ、長手方向に伸びていて、かつ、上側の壁(2)により、下側の壁(3)により、右側の壁(4)により、左側の壁(5)により範囲を定められた空間(1)が設けられていて、その上側の壁(2)が電磁誘導により加熱されるのに適した導電性材料の少なくとも1個の部品により構成され、その下側の壁(3)が電磁誘導により加熱されるのに適した導電性材料の少なくとも1個の部品により構成され、その右側の壁(4)が不活性で、耐熱性で、電気的絶縁性の材料の少なくとも1個の部品により構成され、その左側の壁(5)が不活性で、耐熱性で、電気的絶縁性の材料の少なくとも1個の部品により構成されており、上側の壁(2)の部品又は各部品がその下側の壁(3)の部品又は各部品から電気的に絶縁されていて、その部品(2、3、4、5)がサセプタ・システムに含まれていることを特徴とするサセプタ・システム。

IPC (3件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/46 ,  H05B 6/10

FI (4件)：

H01L21/205 ,  C23C16/46 ,  H05B6/10 341 ,  H05B6/10 381

Fターム (17件)：

3K059AB28 ,  3K059AD03 ,  3K059CD44 ,  3K059CD63 ,  4K030BA37 ,  4K030BB02 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030KA09 ,  4K030KA24 ,  4K030KA46 ,  5F045AA03 ,  5F045DP04 ,  5F045EK03 ,  5F045EM02 ,  5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 米国特許第5,879,462号明細書
  
• 米国特許第5,674,320号明細書
  
• 米国特許第5,792、257号明細書
  
• 米国特許第5,695,567号明細書
  

審査官引用 (1件)

• デバイスなどの物体をエピタキシャル成長させる装置用のサセプタ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-530071   出願人：エービービーリサーチリミテッド