質量分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：米澤明 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-291655
公開番号（公開出願番号）：特開平10-134764
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】試料の導入部とともに、分析部、検出部を接地電位をすることが可能な質量分析装置を得る。【解決手段】接地電位またはその近傍の電位としたイオン源、分析部および検出部を有し、イオン源と分析部の間に電圧変動部を有するとともに、電圧変動部の電位を、電圧変動部に入射したイオンが電圧変動部を通過する時間に比べて短い時間でイオンが電圧変動部に入射するだけのエネルギーを与える電位から加速電圧に切り換えるか、または加速電圧を接地電位またはその近傍の電圧に切り換える質量分析装置。

請求項（抜粋）：

イオン源で発生したイオンを加速して分析する質量分析装置において、接地電位またはその近傍の電位としたイオン源、分析部および検出部を有し、イオン源と分析部の間に電圧変動部を有するとともに、電圧変動部の電位を、電圧変動部に入射したイオンが電圧変動部を通過する時間に比べて短い時間で切り換える電圧切換手段を有することを特徴とする質量分析装置。

IPC (3件)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 , H01J 49/10

FI (3件)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 G , H01J 49/10

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