プラズマイオン源質量分析装置及びイオン源位置調整方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-149332
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340168
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】プラズマ位置(イオン源)の位置調整を簡便にする。【解決手段】プラズマイオン源質量分析装置のイオン源位置調節方法において、イオン源と質量分析部との測定時の間隔情報を記憶するステップと、前記イオン源の基準となる位置情報を記憶するステップと、前記プラズマトーチの取り付けが行われた際に、前記位置情報と前記間隔情報を基に、前記イオン源を移動するステップとを有する。【効果】プラズマトーチを再度取り付けた際でも前と同じ条件で簡単に測定が行える。

請求項（抜粋）：

プラズマトーチと当該プラズマトーチの外周に巻かれるコイルとを有する試料のイオン化を行うイオン化部と、当該イオン化部を移動させる手段と、当該イオン化部によってイオン化された試料を細孔を有する部材を介して導入し、導入されたイオン化試料を質量分離して検出する質量分析部と、前記イオン化部と前記質量分析部の制御を行う制御部とを備えるプラズマイオン源質量分析装置において、前記制御部は、前記イオン化部と前記質量分析部との測定時の間隔情報を記憶する第1の記憶手段と、前記イオン化部の基準となる位置情報を記憶する第2の記憶手段とを有し、前記プラズマトーチの取り付けが行われた際に、前記第2の記憶手段に記憶された位置情報と前記第1の記憶手段で記憶された間隔情報を基に、前記イオン化部を移動することを特徴とするプラズマイオン源質量分析装置。

IPC (2件)：

H01J 49/10 , G01N 27/62

FI (2件)：

H01J 49/10 , G01N 27/62 G

Fターム (5件)：

5C038GG09 , 5C038GH02 , 5C038GH11 , 5C038GH13 , 5C038GH15

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