特許

J-GLOBAL ID：200903061991286602

半導体ウェハのエッチング終点検出装置及び終点検出方法

発明者： 奥田 敦 ,  余吾 鋭哉
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-189581
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036095
出願日： 1995年07月25日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】小開口率の半導体ウェハであっても、エッチング終点の検出を安定して行うことができるようにする。【解決手段】光検出器11はプラズマ光における所定波長の光の発光強度を検出して検出信号SG1を出力する。D/Aコンバータ14はCPU16の制御信号DS1に基づくスライス電圧VS1を出力する。差動回路12は検出信号SG1の電圧をスライス電圧VS1だけ低下させた第1の信号SG2を出力し、終点検出のための信号を安定させる。信号増幅回路13の増幅率はCPU16の制御信号DA1に基づいて設定され、増幅回路13は検出開始直後における信号SG2を予め定めた電圧の信号SG3に増幅する。A/Dコンバータ15は出力信号SG3をデジタル信号SG4に変換する。CPU16はデジタル信号SG4の演算を行い、エッチング終点を検出する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェハのドライエッチング処理中に発生する光における所定の波長の光の発光強度の変化に基づいてエッチング終点を検出するようにした半導体ウェハのエッチング終点検出装置であって、前記所定波長の光の発光強度を検出し、かつ、発光強度に応じた電圧の検出信号を出力する光検出器と、信号増幅率を任意に設定可能であり、かつ、前記光検出器の検出信号を増幅するための信号増幅回路と、前記光検出器の検出開始直後における検出信号の電圧に基づき、その検出信号の電圧が小さいほど前記信号増幅回路の増幅率が大きくなるように制御するゲイン制御手段と、前記信号増幅回路の出力信号の変化に基づいてエッチング終点を検出する終点検出手段とを備える半導体ウェハのエッチング終点検出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00 ,  G01N 21/68 ,  G01N 21/71

FI (4件)：

H01L 21/302 E ,  C23F 4/00 F ,  G01N 21/68 ,  G01N 21/71

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭59-028340
  
• 特開昭63-289934
  
• 特開昭55-157233
  
• 特開昭60-060727