特許

J-GLOBAL ID：200903061992399761

熱可塑性プラスチック製カセットの構造及び封止方法

発明者： 吉岡 雅隆
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-239419
公開番号（公開出願番号）：特開平11-079274
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 大型の半導体シリコンウエハ等の輸送、搬出・搬入に対応でき、容器の組立時にパーティクルが中に入ることがないためウエハ等の汚染がなく、さらには重量が軽減されるため取扱いが容易で、金型製作費の節減に寄与する熱可塑性プラスチック製カセットの構造及び封止方法を提供する。【解決手段】 カセット本体、櫛歯状支持具および蓋体等を備えてなるプラスチック製カセットであって、前記本体と支持具との締結位置に対抗して設けた本体の座ぐり孔、支持具に設けたビス止め穴、本体と支持具締結用ビス及び座ぐり孔のビス上面の開口に装着された封止部材とからなるプラスチック製カセットの構造、および、前記構造のカセットのカセット本体と櫛歯状支持具との締結位置に対抗して設けたカセット本体の座ぐり孔と櫛歯状支持具に設けたビス止め穴にビスを通して両方を締結させ、座ぐり孔のビス上面の開口に封止部材を装着させてプラスチック製カセットを封止する。

請求項（抜粋）：

カセット本体、櫛歯状支持具および蓋体等を備えてなるプラスチック製カセットであって、前記カセット本体と櫛歯状支持具との締結位置に対向して設けた前記カセット本体の座ぐり孔、前記櫛歯状支持具に設けたビス止め穴、前記カセット本体と櫛歯状支持具との締結用ビス、および座ぐり孔のビス上面の開口に装着された封止部材とからなることを特徴とする熱可塑性プラスチック製カセットの構造。