特許
J-GLOBAL ID：200903061992570940
固体撮像装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046739
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067762
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 受光感度を向上させる。【構成】 固体撮像装置基板1上の受光部2上の目的とする位置にカラーフィルター層3が形成されている。そのカラーフィルター層3上は、耐エッチング性材料層9と透明材料層4とにより薄膜で平坦化されている。そして平坦化後の透明材料層4上に断面形状が半円状もしくは半円状に近い形状のマイクロレンズ層5が形成されている。これによってカラーフィルター表面が薄膜で平坦化され、受光部2とマイクロレンズ層5との距離が大きくならない。そのため焦点距離を適切にすることができて、かつマイクロレンズ形状が半円状であるため、固体撮像装置の受光感度の向上した固体撮像装置が実現する。
請求項（抜粋）：
固体撮像装置基板上のフィルター層上に形成された耐エッチング性材料層と、前記耐エッチング性材料層上に形成された表面が平坦でかつ薄膜状の透明材料層と、前記透明材料層上に断面形状で半円状もしくは半円状にきわめて近い形状のマイクロレンズとを有することを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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