特許
J-GLOBAL ID:200903061994310008
研磨方法および研磨装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石原 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-337325
公開番号(公開出願番号):特開2001-150331
出願日: 1999年11月29日
公開日(公表日): 2001年06月05日
要約:
【要約】【課題】 被加工物の研磨面の平坦性を向上させ、かつ、研磨布の寿命を延長することができる研磨方法を提供する。【解決手段】 研磨初期時において、研磨工具3における研磨布1を取付けた弾性体2の内圧を低く設定すると共に、研磨工具3の回転及び被加工物保持具10の回転をそれぞれ低速に設定した後、その後の研磨時において、前記内圧を高く設定すると共に、研磨工具3の回転及び被加工物保持具10の回転をそれぞれ高速に設定して研磨を行う。
請求項(抜粋):
内部に流体を導入して内圧が与えられる弾性体の表面に研磨布を取付けてなる研磨工具を、被加工物保持具上の被加工物に圧接させつつ、研磨液を被加工物に供給しながら、研磨工具と被加工物保持具とを夫々独立に回転させて被加工物を研磨する方法において、研磨初期時において、前記内圧を低く設定すると共に、研磨工具の回転及び被加工物保持具の回転をそれぞれ低速に設定した後、その後の研磨において、前記内圧を高く設定すると共に、前記研磨工具の回転及び前記被加工物保持具の回転をそれぞれ高速に設定して研磨を行うことを特徴とする研磨方法。
IPC (6件):
B24B 37/00
, B24B 49/00
, B24B 49/08
, B24B 49/16
, H01L 21/304 622
, H01L 21/304
FI (7件):
B24B 37/00 B
, B24B 49/00
, B24B 49/08
, B24B 49/16
, H01L 21/304 622 K
, H01L 21/304 622 R
, H01L 21/304 622 E
Fターム (21件):
3C034AA13
, 3C034AA17
, 3C034CA15
, 3C034CA16
, 3C034CB02
, 3C034CB04
, 3C034CB20
, 3C034DD20
, 3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA12
, 3C058AC04
, 3C058BA04
, 3C058BA05
, 3C058BA06
, 3C058BA09
, 3C058BB04
, 3C058BC02
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA17
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