特許
J-GLOBAL ID：200903062000380645
電子顕微鏡及びそれを用いた顕微像観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薄田 利幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-105766
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013033
出願日： 1991年05月10日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 試料内部の磁場分布を、広い計測領域にわたり高い空間分解能で正確に得ることができる顕微像観察方法及び電子顕微鏡を提供する。【構成】 収束した収束電子ビーム2の試料6上での照射位置の選択あるいは走査を、取替え可能な試料台4上又は内に試料固定台18を設け、ピエゾ素子等によって固定台18を微小かつ収束電子ビーム2に垂直な面に移動する機構を設けることによっておこない、透過ビーム7の試料6による偏向を検出器9で検出することにより試料6内部の磁場分布を観察する。【効果】 電子ビーム偏向を行わずに画像が得られので、通常の走査型透過電子顕微鏡における位置ずれの問題が発生せず、像全体にわたり正確な磁場分布を感度よく得ることができる。
請求項（抜粋）：
収束電子ビームを試料に照射する機構及び上記試料を透過した透過電子ビームを検出する検出機構を有する電子顕微鏡であって、上記収束電子ビームを試料に照射する機構が上記試料上の収束電子ビームの照射位置を決めるための上記試料を移動又は走査させる試料移動機構をもち、上記検出機構が上記試料移動機構から上記照射位置の信号及び上記透過電子ビームの位置の信号を入力として上記試料の内部顕微像を表示する表示手段とをもつことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/22
, H01J 37/147
, H01J 37/20
, H01J 37/26
