光照射装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-279747
公開番号（公開出願番号）：特開2003-080191
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月18日
要約：

【要約】【課題】内部に誘電体バリア放電ランプを収納したランプハウスのエキシマ光を取り出す窓部材の温度上昇を抑制することにより、被処理体を確実に処理することができるとともに、窓部材に汚染物質が付着することを防止できる光照射装置を提供することにある。【解決手段】本発明の光照射装置は、誘電体バリア放電ランプ2と、この誘電体バリア放電ランプ2を収納するとともにエキシマ光を取り出すための窓部材5が形成されたランプハウス1とを具えてなり、ランプハウス1内を不活性ガスで置換した状態で作動する光照射装置において、ランプハウス内1には、不活性ガス噴出機構6が設けられており、不活性ガス噴出機構6から噴出された不活性ガスが窓部材5に直接吹き付けられるようになっていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

誘電体バリア放電によりエキシマ光を発生する誘電体バリア放電ランプと、この誘電体バリア放電ランプを収納するとともにエキシマ光を取り出すための窓部材が形成されたランプハウスとを具えてなり、前記ランプハウス内を不活性ガスで置換した状態で作動する光照射装置において、前記ランプハウス内には、不活性ガス噴出機構が設けられており、前記不活性ガス噴出機構は、当該不活性ガス噴出機構から噴出された不活性ガスが前記窓部材に直接吹き付けられるようになっていることを特徴とする光照射装置。

IPC (3件)：

B08B 7/00 , B01J 19/12 , H01J 65/00

FI (3件)：

B08B 7/00 , B01J 19/12 C , H01J 65/00 B

Fターム (23件)：

3B116AA23 , 3B116BB22 , 3B116BB90 , 3B116CD35 , 4G075AA30 , 4G075AA37 , 4G075BA05 , 4G075BA06 , 4G075BB10 , 4G075CA03 , 4G075CA33 , 4G075CA63 , 4G075DA02 , 4G075EB31 , 4G075EB33 , 4G075EC01 , 4G075EC09 , 4G075EC21 , 4G075FB02 , 4G075FB06 , 4G075FC04 , 4G075FC11 , 4G075FC15

引用特許：

審査官引用 (2件)

光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-002746 出願人：ウシオ電機株式会社
特開平3-043951

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