特許

J-GLOBAL ID：200903062004270402

バックスパッタリングシールド

発明者： ブレット アダムス ,  グレゴリー エヌ. ハミルトン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-033508
公開番号（公開出願番号）：特開平10-237638
出願日： 1998年01月08日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：

【要約】【課題】 スパッタチャンバからパーティクルを除去する好適な装置を提供する。【解決手段】 本発明は、金属ターゲットを装着するバッキングプレートがターゲットシールドを収容する溝を有している堆積チャンバ用ターゲット装置である。ターゲットシールドは、通常の清浄作業中にターゲット装置の残りの部分を交換することなく交換することができる。このターゲットシールドは、テーパエッジを有するターゲットとともに使用することができる。

請求項（抜粋）：

堆積チャンバ用のターゲット装置であって、前記チャンバ内にターゲットを取り付けるバッキングプレートであって、ターゲットを包囲する露出可能な面を有するバッキングプレートと、前記バッキングプレートの露出可能面に対向して着脱自在に配置されたターゲットシールドと、を備えるターゲット装置。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

C23C 14/34 C ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/31 D