特許

J-GLOBAL ID：200903062027055070

合成シリカ粉の製造方法

発明者： 渡部 弘行 ,  滝田 政俊
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-198474
公開番号（公開出願番号）：特開平5-017122
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はカサ比重が高く、泡不良のない合成石英ガラスを製造するための合成シリカ粉の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成シリカ粉の製造方法はメチルシリケ-トをアンモニア水で加水分解、重縮合してコロイダルシリカとしたのち、500 μm 以下に篩別し、酸化雰囲気下に1,000 〜1,100 °Cで加熱処理し、ついで同温度領域においてヘリウムガスを導入して緻密化することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

メチルシリケ-トをアンモニア水で加水分解、重縮合してコロイダルシリカとしたのち、500 μm 以下に篩別し、酸化雰囲気下に1,000 〜1,100 °Cで加熱処理し、ついで同温度領域においてヘリウムガスを導入して緻密化することを特徴とする合成シリカ粉の製造方法。

IPC (3件)：

C01B 33/12 ,  C01B 33/158 ,  C03B 8/02