特許

J-GLOBAL ID：200903062032282912

非接触式表面形状測定装置

発明者： 市原 保賜 ,  松宮 貞行 ,  佐久間 健司
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-090627
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280540
出願日： 1994年04月05日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 断面曲線中の異常値を除去して測定データの信頼性向上を可能とした非接触式表面形状測定装置を提供する。【構成】 光学変位センサ1は、トラバースヘッド2に取り付けられて、制御駆動回路3により駆動されて、ワーク4の表面を走査して断面曲線を得る。変位センサ1から得られる断面曲線はデータ処理装置に送られる。データ処理装置は、2段の転がり円フィルタ5,6と二次データ処理回路7を有する。第1の転がり円フィルタ5は、断面曲線に対して、その波形の上から接する所定半径の転がり円により処理して、第1の転がり円うねり曲線を得る。第2の転がり円フィルタ6は、得られた第1の転がり円うねり曲線に対して、その波形の下から接する所定半径の転がり円により処理して第2の転がり円うねり曲線を得る。

請求項（抜粋）：

光ビームによりワーク表面を走査してそのワークの断面曲線データを得る変位検出器と、この変位検出器から得られる断面曲線データを処理するデータ処理装置とを有する非接触式表面形状測定装置において、前記データ処理装置は、前記断面曲線データについてその波形の上および下から接する転がり円で処理してうねり曲線を得る2段の転がり円フィルタ手段を有することを特徴とする非接触式表面形状測定装置。