特許

J-GLOBAL ID：200903062040861506

位置ずれ検出装置

発明者： 松本 隆宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-259413
公開番号（公開出願番号）：特開平7-208923
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】 マスクとウエハとの位置ずれやウエハ面上へのパターンの重ね合わせ等を高精度に計測することのできる位置ずれ検出装置を得ること。【構成】 周波数f0の単一周波数のレーザ光を放射するレーザと回折格子と、該回折格子に該レーザ光を入射させる照明手段と、該回折格子からの回折光を周波数変調する周波数変調素子と、周波数変調した回折次数の異なる回折光を合成する合成手段と、合成した光を検出してビート信号を得る光電変換手段と、該ビート信号の位相を基に該回折格子の位置ずれを検出する信号処理系とから構成されること。

請求項（抜粋）：

周波数f0の単一周波数のレーザ光を放射するレーザと回折格子と、該回折格子に該レーザ光を入射させる照明手段と、該回折格子からの回折光を周波数変調する周波数変調素子と、周波数変調した回折次数の異なる回折光を合成する合成手段と、合成した光を検出してビート信号を得る光電変換手段と、該ビート信号の位相を基に該回折格子の位置ずれを検出する信号処理系とから構成されることを特徴とする位置ずれ検出装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G02B 5/18 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027