特許
J-GLOBAL ID：200903062049612304
排気装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鴨田 朝雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-169059
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074716
出願日： 1991年06月14日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 粒状の反応生成物が生じる反応容器の排気系における反応生成物による故障を防止する。【構成】 比較的高真空に排気する手段と、比較的低真空に排気する手段とを、同一排気系に直列に接続して、排気系の切り換えをしないようにし、比較的高真空の排気手段としてターボ分子ポンプを利用する。
請求項（抜粋）：
反応性気体の反応により粉状の反応生成物が発生する反応室に使用する排気装置において反応室内を比較的高真空に排気する手段と、反応室内を比較的低真空に排気する手段とを同一排気系に直列に接続したことを特徴とする排気装置。
IPC (5件)：
H01L 21/205
, C23C 16/54
, C30B 25/14
, H01L 21/31
, F04D 19/04
