特許
J-GLOBAL ID:200903062055426180

高周波電力発生装置の電力検出回路

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-326553
公開番号(公開出願番号):特開平9-145752
出願日: 1995年11月21日
公開日(公表日): 1997年06月06日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 高周波電力発生装置の入射電力及び反射電力を検出するのに、応答遅れの少ない電力検出回路を提供する事を目的とする。これにより、保護回路の高速化にもつながり、又、13、56MHZの高周波電力発生器のパルス制御等にも、電力検出回路の高速化が適用出来る利点がある。【解決手段】 入射電力及び反射電力を検出する為の電流、電圧波形を、基本波及びこれの±45度進角、遅角した信号を重畳して検出信号とする事を特徴とする高周波電力発生装置の電力検出回路。上記の進角、遅角信号はクワッドラッチャハイブリッドを用いればより簡単に実現出来る。
請求項(抜粋):
高周波電力発生装置の入射又は反射側の電流と電圧を検出して、入射電力又は反射電力を検出する高周波電力発生装置の電力検出回路に於いて、前記電流と電圧の検出信号を、基本波に対して±45度進角及び遅角した信号を、各々全波整流し、増巾器を通し電力検出を行わしめる事を特徴とする電力検出回路。
IPC (4件):
G01R 21/06 ,  G01R 11/00 ,  G05F 1/10 301 ,  H03D 1/10
FI (4件):
G01R 21/06 Z ,  G01R 11/00 D ,  G05F 1/10 301 Z ,  H03D 1/10 Z
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭54-018661

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