特許
J-GLOBAL ID：200903062055770167
薄板用搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-073372
公開番号（公開出願番号）：特開平6-278862
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：
【要約】【目的】この発明は、面積が大きく、周縁部しか接触を許していない薄板を吸着ミスなく安定して搬送できる薄板用搬送装置を提供することを特徴とする。【構成】移動装置2に連結された載置体4を構成するバキュ-ムハンド部5に在る吸引口11の周囲に、その吸引口11を囲むようにOリング15を突設し、このOリング15の突き出た部分を、バキュ-ムハンド部5に載置されるガラス基板3の板面に密着させるようにした。これによって、ガラス基板3の全体が水平に置かれたときに生じるとされる、ガラス基板3のたわみで生じる吸引口11とガラス基板3の表面の間の隙間部分をOリング15で埋めるようにした。
請求項（抜粋）：
各種移動方向へ駆動する移動装置に連結された、薄板の中央の板面部分に対しては離れ、かつ周縁部に対しては接触して前記薄板全体を下側から中央が浮いた状態で水平に支える載置面を有してなり、前記移動装置の駆動にしたがって前記薄板を枚葉毎に目的の部位に移すための載置体と、この載置体の前記薄板の周縁部と対応する載置面部分に設けられ、前記載置面に載せた薄板を真空引きによって吸引するための吸引口と、この吸引口の周囲の載置面部分にその吸引口を囲むように突設された、前記載置面に載置される前記薄板の板面と密接可能な弾性体とを具備したことを特徴とする薄板用搬送装置。
IPC (2件)：
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