特許

J-GLOBAL ID：200903062058884376

薄型表示機器の検査装置及び欠陥修正装置

発明者： 大嵜 守英 ,  中倉 行彦
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-121676
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331945
出願日： 1993年05月24日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【構成】 歩留りの向上を図るために、パネル2の欠陥箇所を拡大観察し、欠陥箇所に修正を施す欠陥修正装置である。欠陥観察修正部8には、50倍の対物レンズを備えたレーザ照射用顕微鏡システム13と、低倍率で広い視野を有すると共に、視野の所定部位に、レーザ照射用顕微鏡システム13の50倍の対物レンズの視野を有する追い込み用CCDカメラ16とが、パネル2を挟んで対向して設けられている。そして、パネル2とレーザ照射用顕微鏡システム13との間には、パネル2に点灯不良箇所の検出に必要な光を照射する透過照明15が配設されている。【効果】 レーザ照射用顕微鏡システム13の視野内に欠陥箇所を位置させるまでの作業が容易になり、ひいては、歩留り向上によるコスト削減を効率良く行うことができる。

請求項（抜粋）：

薄型表示機器を支持すると共に移動させる移動手段と、上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給する駆動信号供給手段と、駆動信号が供給されている上記薄型表示機器における点灯不良箇所の検出に必要な光を上記薄型表示機器に照射する光源手段と、上記薄型表示機器における点灯不良箇所を拡大し、点灯不良を引き起こす原因となる欠陥箇所の観察に使用される主観察手段とを備えた薄型表示機器の検査装置において、上記主観察手段とは別に、主観察手段よりも低倍率で広い視野を有すると共に視野内の所定位置に主観察手段の視野が設定された副観察手段が設けられていることを特徴とする薄型表示機器の検査装置。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/88

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-072552
  
• 特開平2-264911
  
• 特開平3-078721