粘着シートおよび貼着体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：増田達哉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-185221
公開番号（公開出願番号）：特開2003-003132
出願日： 2001年06月19日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】半導体へ悪影響を与えにくい粘着シートおよび貼着体を提供すること。【解決手段】貼着体1Aは、半導体製造装置に貼着して用いる。貼着体1Aは、粘着シート基材21と粘着剤層22とを有する粘着シート2Aに、離型シート基材31と離型剤層32とを有する離型シート3Aが、粘着剤層22と離型剤層32とが接するように、貼着された構成となっている。貼着体1Aは、粘着シート2A中のシリコーン量が、500μg/m2以下である。粘着シート2Aが含有するNOX-,Cl-,PO43-,F-,K+,Na+,Ca2+の量の総計は、20mg/m2以下であることが好ましい。粘着シート2Aでは、85°Cにおいて、30分間の発生ガス量が20mg/m2以下であることが好ましい。

請求項（抜粋）：

基材と、該基材上に設けられた粘着剤層とを有し、半導体の製造装置またはその関連品に用いられる粘着シートであって、前記粘着シートのシリコーン化合物の含有量が、500μg/m2以下であることを特徴とする粘着シート。

IPC (4件)：

C09J 7/02 , B32B 27/00 , B32B 27/18 , B32B 27/32

FI (5件)：

C09J 7/02 Z , B32B 27/00 L , B32B 27/00 M , B32B 27/18 D , B32B 27/32 Z

Fターム (51件)：

4F100AA17C , 4F100AA28 , 4F100AA37C , 4F100AB01C , 4F100AB24 , 4F100AH06B , 4F100AK01A , 4F100AK03D , 4F100AK06 , 4F100AK25G , 4F100AK42 , 4F100AK63 , 4F100AK64 , 4F100AL09D , 4F100AT00A , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10D , 4F100CA22C , 4F100DG10A , 4F100EH23 , 4F100EH46 , 4F100EH66 , 4F100GB41 , 4F100JA13D , 4F100JG03C , 4F100JL00 , 4F100JL13B , 4F100JL14D , 4F100JM02C , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4F100YY00D , 4J004AA10 , 4J004AA14 , 4J004AA15 , 4J004AB01 , 4J004CA02 , 4J004CA04 , 4J004CA06 , 4J004CA08 , 4J004CB02 , 4J004CC02 , 4J004CC03 , 4J004CD01 , 4J004DA02 , 4J004DB02 , 4J004FA05

引用特許：

審査官引用 (35件)

シ-ル材
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-042310 出願人：日東電工株式会社
粘着剤組成物とその粘着シ-ト類
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-033792 出願人：日東電工株式会社
電子部品キャリア用粘着テープ、並びに電子部品の搬送方法及び実装方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-161428 出願人：日東電工株式会社

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